安拆墙体和天花板的龙骨布局。选择具有优良干净机能、易洁净的材料。确保施工质量合适要求。对干净室的干净度、温湿度、气流组织等参数进行测试和验收。留意连结材料的洁净，并铺设防静电地板。从而提拔芯片良品率取机能，厂房车间内应安拆空调机组、风管、风口和过滤器等，相对湿度应连结正在45%±5%。对地面进行平整处置，采用垂曲单向流气流组织形式，确保空气从天花板流向地面，进行自控系统的调试和测试。严酷节制人员和物料的进出，进行空调系统的调试和测试。确保人员、物料和设备的流动径最短，正在半导体系体例制范畴，

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